1、內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷套的設(shè)備上，查外漏沒有發(fā)現(xiàn)疑點，但是卻有以下現(xiàn)象：機械空氣彈簧的抽速明顯偏低、真空計示值低、機械空氣彈簧油很快乳化、真空室內(nèi)的鐵基零部件明顯銹蝕。具備以上條件基本可以確定有內(nèi)漏。先把內(nèi)壁清理干凈，再通冷卻水，看有無濕潤點，濕潤處就是漏點。
2、小漏和微漏就比較難查了，大家常用的方法是利用在高真空狀態(tài)下電離管對某些氣體反應(yīng)敏感來檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫(yī)用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點時，電離計的指針會有明顯擺動。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計的示值穩(wěn)定了也就是真空機組的抽氣能力和漏率平衡了，然后再噴射。最好是反復(fù)幾次，確認漏點。
3、較大的漏點可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，比如用蠟燭或打火機在可疑點附近逐步查尋，會發(fā)現(xiàn)火苗向漏點偏移，則可找到漏點。