使用空氣彈簧的常識

空氣彈簧一般由馬氏體材料和根據(jù)客戶要求制造。尺寸挑選合理，應(yīng)力合適，活塞桿行程尺寸8mm的余量。選用球形空氣彈簧和鉸鏈?zhǔn)讲y管，應(yīng)加裝導(dǎo)向支架，防止波紋管失去穩(wěn)定性。選用其他方式，補(bǔ)償管路過長時，還需提供導(dǎo)向支撐。補(bǔ)償管路較長時要選用減小摩擦。

使用空氣彈簧的常識

空氣彈簧的密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)大多選用構(gòu)造，兩側(cè)，端面為光滑突面，兩兩側(cè)用螺釘連接到可以密封嚴(yán)密。隔離外部環(huán)境對印壓光刻機(jī)的影響，能夠保護(hù)壓印機(jī)不受低頻激振力的激發(fā)。確定了低頻單度減震系統(tǒng)的減震原理，確定了剛度及減震系統(tǒng)的共振頻率，并與實(shí)際減震系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)結(jié)論相符合，表明印壓光刻機(jī)低頻減震設(shè)計(jì)合理可行。

使用空氣彈簧的常識

空氣彈簧可以同時承受多向負(fù)載，從而簡化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，具有極強(qiáng)的內(nèi)阻。對于吸收突然沖擊、高頻振動和隔音有很大的幫助，形狀不限，各方向剛度可根據(jù)設(shè)計(jì)要求隨意挑選，雖然彈性模具小的邊緣尺寸和曲囊直徑，但可以獲得較大的彈性變形，容易達(dá)到理想的非線性特點(diǎn)。